应用解决方案

半导体与器件特性测试

功率电子测试解决方案

半导体生产流程涵盖晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试这四个工序,测试需求贯穿始终。特别是越高端、越复杂的芯片对测试的依赖度越高,每个工序、每个环节都不允许有偏差,测试的完整性直接关系到最终电子产品的品质。随着5G、大数据、人工智能等新兴市场的崛起,半导体器件的日益复杂化,将驱动对更高性能的测试需求。在此背景下,全球半导体测试企业纷纷革新半导体测试设备及系统,以满足日益更新的测试需求。


绿测科技助力国家半导体行业战略布局,致力于打造标准化、规范化、自动化的半导体测试解决方案。

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功率半导体测试:双极管静态参数

被测器件

GaN SBD(肖特基结)二极管、GaN HEMT(高电子迁移率)二极管、发光二极管(LED)、半导体光电二极管

  • 开启电压:0.4~2V
  • 反向电压:>100V
  • 正向电阻:最小5Ω
  • 反向漏电流:μA级甚至nA级

测试难点

  • 二极管开启后,电流上升极快
  • 反向过程中,漏电流极小,达到微安级别
  • 反向击穿过程,电流上升速度极快,需要对控制电流对器件进行保护

测试方法

使用高精度源表进行测量

测试仪器:

NGU系列电源

  • 0.05精度电流表,测量亚微安级反向电流
  • 电压扫描,绘制伏安曲线
  • 可用于测量二极管、LED 和太阳能板等双极设备的特性。
  • FastLog记录功能,提供回读电压电流
  • 电压范围:-20v 至 20V,一般情况下可满足正向开启电压测试
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功率半导体测试:动态参数

被测器件

MOSFET、IGBT等功率半导体器件

  • td(on):开通延迟时间,ns级
  • tr:上升时间,ns
  • td(off):关断延迟时间,ns
  • tf:下降时间,ns
  • Eon:开通损耗能量,ns
  • Eoff:关断损耗能量,ns
  • Qrr:体二极管反向恢复电荷,亚μC
  • Irrm:体二极管峰值反向恢复电流,A

测试难点

  • 高压、大电流
  • 上升时间较快
  • 垂直系统高精度
  • 根据合适参数选择器件

测试方法

  • 双脉冲测试平台

功率半导体测试:动态参数

  • 采用配套的测试电路进行测试,降低配置难度
  • 耦合输出Vgs,避免损害波形发生器
  • 开关切换电感,实现上下管分别测量
  • 电流测量使用同轴分流器或者高电流探头

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测试仪器

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功率电子设计和验证

能源和功率需求不断提高。这是因为可再生能源快速增长、交通电气化和工业自动化日益发展,以及数据存储、传输和可用性不断增加。因此,功率电子成为电子系统和服务的一个关键区分因素。

在嵌入式电源、功率转换或电机驱动型电子设备领域,工程师通常面临着相互冲突的设计挑战。这些挑战包括与可靠性和功率效率、减小尺寸和重量以及一致性相关的各种问题。罗德与施瓦茨的测试与测量解决方案可以帮助您应对这些难题,助您实现设计目标,加快产品上市。

功率电子技术

  • DC电源开关电路
  • 线性功率放大电路
  • 交流电源开关电路
  • 直流—直流变换技术
  • 直流—交流变换技术
  • 交流—直流变换技术
  • 交流—交流变换技术
  • 软开关技术
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功率电子设计:无源器件表征

被测器件

电容、电感、电阻、变压器等基本无缘器件

  • L:电感量
  • C:电容量
  • R:电阻量
  • |Z|:阻抗模
  • Q:品质因数

测试难点

  • 部分元件在不同工作频率下呈现不同特性
  • 部分元件测试需要提供较高直流偏执
  • 垂直系统高精度
  • 根据合适参数选择器件

测试方法

  • LCR表或阻抗分析仪


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LCX LCR表

新一代LCR表,LCX100和LCX200

  • 可在电压偏置和电流偏置下对元器件特性进行测试
  • 测量项目:L, C, R, |Z|, X, |Y|, G, B, D, Q, Θ, ∆, M, N
  • 基础精度0.05%
  • 最低测量频率低至4Hz,有效表征电容和电感器件超低频特性
  • 最高频率可升级至 10MHz
  • 内置DC偏压最对10V,外部偏压可通过电源输入达40V
  • 可通过PC远程控制方式,实现频率扫描功能


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功率电子设计:环路响应

被测器件

  • DC-DC转换器
  • 功率因数校正器(PFC)

测试难点

  • 开关电源频域特性
  • 整体电路响应变化
  • 被测器件高直流输出
  • 分析增益裕量和相位裕量

测试方法

  • 环路响应测试
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功率电子设计:电源纹波

被测器件

开关电源电路板

测试难点

  • 纹波幅值较低,低电压下更难测试
  • 需要极高垂直分辨率
  • 越小的测量量程越佳
  • 探头和测量仪器本底噪声干扰
  • 测试接地寄生电感
  • 探头衰减带来的幅值降低和噪声

测试方法

  • 电源纹波测试

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功率电子设计:物联网功耗

被测器件

物联网器件

  • 穿戴医疗设备,如新型心脏起搏器
  • 智能家居,如门锁、灯控
  • 智能交通,如ETC、智能路边停车
  • 安全监控,如森林火灾传感器

测试难点

  • IC通常开启深度睡眠模式,满足长时间电池续航,电流极低
  • 生命周期内进行大动态宽范围测试
  • 开机上升电流极快,到达安培量级
  • 电池电压需要满足低功耗调节要求
  • 需要配合射频功能调节器件状态

测试方法

  • 使用NGU电池模拟器模拟电池
  • RTO示波器 + RT-ZVC多通道功率探头,在设定工况下
  • CMW500综测仪 + CMWrun自动化软件+ RT-ZVC多通道功率探头,进行真实工况模拟下的电流和电压,并长时间记录情况
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外场和服务测试:电动汽车

被测件

电动汽车外场调试

测试难点

  • 外场要求便携,脱离市电使用,需要内置电池
  • 拥有跌落防护、防尘、防水,防止携带过程损坏
  • 监控CAN总线情况并进行解码
  • 测量模块的串行数据流
  • 测量高压电路情况

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测试方法

  • 使用 R&S®ScopeRider RTH示波器进行测试

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关于绿测

广州绿测电子科技有限公司(简称:绿测科技)成立于2015年11月,是一家专注于耕耘测试与测量行业的技术开发公司。绿测科技以“工程师的测试管家”的理念向广大客户提供专业的管家服务。绿测科技的研发部及工厂设立于广州番禺区,随着公司业务的发展,先后在广西南宁、深圳、广州南沙、香港等地设立了机构。绿测科技经过深耕测试与测量领域多年,组建了一支经验丰富的团队,可为广大客户提供品质过硬的产品及测试技术服务等支持。

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